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晶體定向儀:
0415-2155900
傳真電話:
0415-2155887
無損探傷儀:
0415-2150150
傳真電話:
0415-2151390
 
YX-2H8大晶棒定向儀

  YX-2H8大晶棒定向儀是在標準定向儀基礎上,針對單晶硅、砷化鎵、藍寶石等多種晶體設計.主要用于晶圓片、晶棒的測量,顯示器為外置式,樣品臺加裝承重軌道。
  標準配置為GA 、GC、測角儀
  1,一側GA測角儀能測晶體Φ2---Φ8英寸晶圓片;如硅(111)藍寶石C等角度;同時能測晶棒參考面或OF;如硅:(110)藍寶石A面等其它晶體的角度。                                
  2, 另一側GC測角儀能測晶棒端面,測量時可通過改變滾杠寬度達到測量Φ5---Φ8英寸,長500㎜晶棒端面目的,如硅:(111,100)藍寶石C面等其它晶體的角度。同時也能測晶圓片。

主要參數:

參 數

晶圓片直徑

2—8英寸; 最大11英寸

晶棒直徑

5—8英寸 ;最大11英寸

晶棒長度

500㎜ ; 最長550㎜

樣品板面積

43寬×112高 ㎜

定向精度

±30″

數顯方式

θ角:度;分;秒;最小讀數10″

數字位置

外置立式

技術指標

符合YX-2參數

 
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