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晶體定向儀:
0415-2155900
傳真電話:
0415-2155887
無損探傷儀:
0415-2150150
傳真電話:
0415-2151390
 
YX-7M長晶棒定向儀


  針對客戶測量大直徑、長尺寸硅晶圓片、晶棒而設計,此儀器為雙工作位。

  標準配置如下:GA, GC測角儀。
    1、一側用于測3--8英寸晶圓片111、100面,還可測晶棒參考面(110)等角度。
    2、另一側用于測直徑5----8英寸,長800mm晶棒(111、100)晶面等角度。

  主要參數:

項 目

參 數

晶棒直徑

5---8英寸、最大11寸

晶棒長度

800 mm

樣品板面積

43寬×112高mm

定向精度

±30″

數顯方式

θ:度;分;秒;最小讀數10″

顯示器

外置立式

技術指標

符合YX-2參數。

尺 寸

1210×810×1420 mm

 
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