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晶體定向儀:
0415-2155900
傳真電話:
0415-2155887
無損探傷儀:
0415-2150150
傳真電話:
0415-2151390
 
G系列測角儀
GA型測角儀:
按測量晶圓片,晶棒設計,樣品臺帶有承重軌道,可測30公斤,直徑Φ2--6英寸(可增加到8英寸)的晶圓片與晶棒;在樣品臺上加有真空吸氣裝置,能測量晶圓片硅(111)藍寶石A,C,R等其它晶體的角度,同時可測晶棒的參考面或OF面(110)A等角度。
GB型測角儀:
專為硅、藍寶石晶棒設計,設計為寬130mm、長300mm定位平托板,配2個可移動尼龍V型槽晶棒托,測直徑Φ2--Φ6英寸,長400mm晶棒的端面,如:硅(111)藍寶石C面等其它晶體的角度;第一個測2---3英寸端面,第二個測4---6英寸端面。
GC型測角儀:
按測晶棒設計,樣品臺帶有承重軌道,有滾杠型支撐架?蓽y30公斤,直徑Φ2--Φ8英寸,長度為400--500mm的晶棒的端面。在樣品臺上加有真空吸氣裝置,可通過改變滾杠寬度,達到測Φ2--Φ6英寸目的,轉動晶棒用以測量端面如:硅(111)藍寶石C面等其它角度的晶體。
GD型測角儀:
該型號測角儀專為晶圓片參考面的測量而設計,測切完片后的晶圓片的參考面OF面(110)藍寶石A面等其它晶體的角度,樣品臺設有吸氣裝置,測量直徑Φ2--Φ8英寸,厚度0.5mm以上的晶圓片OF面。
GE型測角儀:
該型號測角儀專為大直徑晶圓片而設計的,可測直徑Φ2--Φ8英寸的晶圓片,如:硅(111)藍寶石C面等其它晶體的角度,晶片樣品板有10×10㎜方格,用于晶圓片上下2點180°和4點90°的測試。
GF型測角儀:
該型號測角儀樣品臺,專為鉆床加工好的籽晶條的測量設計,能測Φ5---Φ20mm圓籽晶,方型5--20mm,長度150mm的籽晶條,測量晶面如:硅(111,100)等其它晶體的角度。
GK型測角儀:
該型號測角儀能測直徑Φ2--Φ6英寸晶圓片,通過改變樣品板墊塊傾斜角±6°,±8°±15°度位置,來測晶圓片角度,如:砷化稼(111,100)等其它晶體的角度。
GH型測角儀
該型號測角儀能測直徑Φ2--Φ6英寸晶圓片,通過旋轉90°度,改變樣品板傾斜角±6°度位置來測晶圓片的角度,如:砷化稼(111,100)等其它晶體的角度。
GL型測角儀:
該型號測角儀能測直徑Φ2---Φ6英寸晶圓片;如硅(111)藍寶石C等角度;同時立測能測晶棒參考面或OF,并有垂直參考尺,便于劃線加工參考面,如硅:110面等其它晶體的角度。
 
 
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