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晶體定向儀:
0415-2155900
傳真電話:
0415-2155887
無損探傷儀:
0415-2150150
傳真電話:
0415-2151390
 
YX-5A高精度晶體定向儀


   YX-5A高精度藍寶石晶體定向儀:是在YX-2D6A定向儀基礎上升級產品,配置單色器,數字顯示為6位,最小讀數1″,精度±15″針對單晶硅、藍寶石、砷化稼等多種晶體設計,主要用于晶圓片、晶棒的測量,操作方便,顯示器為外置式,樣品臺加裝承重軌道,屬于通用熱銷機型。
   標準配置如下:GA, GB測角儀
   1、一側GA測角儀能測晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片;111, 100, 等角度;能測晶棒參考面110;OF等角度。藍寶石A,C,R面等角度。
   2, 另一側GB專為晶棒設計,設計為寬130,長300平托板,配2個可移動尼龍V型槽晶棒托,能測Φ2---Φ6英寸晶圓片;能測晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 長400晶棒 ;如:硅(111)(100)藍寶石C面等角度;第一個測2---3英寸端面,第二個測4---6英寸端面。

  主要參數:

項 目

參 數

晶棒直徑

2---6英寸、最大8寸

晶棒長度

400 mm

樣品板面積

43寬×70高mm

衍射方式

前置 單色器,

定向精度

±15″

數顯方式

θ:度、分、秒;

數顯單位

6位顯示 ;最小讀數1″

顯示器

立式外置

技術指標

符合YX-2參數。

 
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