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晶體定向儀:
0415-2155900
傳真電話:
0415-2155887
無損探傷儀:
0415-2150150
傳真電話:
0415-2151390
 
YX-6FX射線晶體復檢儀

用途:將粘接好的晶棒,連同料板一同拿到YX-6F定向儀上,料板底部靠在測角儀的基準面上,打開光閘進行復檢測量。YX-6F可對粘接好的晶棒進行X軸的復檢測量,測量后的結果可與YX-6D的打印結果進行對照,如有差異,可將晶棒從料板取下,重新粘接,大大保證了切割前晶棒的粘接精度。

技術參數:

X射 線 管

銅靶,陽極接地,強迫風冷

管 電 壓

30KVP,全壓合閘

管 電 流

0---5mA,連續可調

整 機 功 率

不大于0.3KW

定 向 精 度

±30″

蝸輪運動誤差

不大于30″

計數器轉角度

-10°------+100°

樣品轉角度

-10°------+50°

計 數 管

蓋革管,電壓600-----1100V

時間常 數

分0.1、0.4、3秒三檔可調

保 護

高壓連鎖保護,溫度保護

狹 縫

4′、5′、6′

外 型 尺 寸

1200mm×650mm×1100mm

儀 器 重 量

250KG

測樣品直徑

硅單晶 Φ3---Φ8英寸晶圓片;

測晶棒長度

硅單晶 Φ3—8英寸;500毫米長晶棒

 

 
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